maskenlose Ionenimplantation

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• Fotolithografie (Halbleitertechnik) — Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten. Dabei wird mittels der Belichtung das Bild einer Fotomaske auf …   Deutsch Wikipedia

• Ionenstrahllithografie — Die Ionenstrahllithografie, oftmals abgekürzt Ionenlithografie, ist in der Halbleitertechnik ein Verfahren zu Herstellung einer strukturierten dünnen Schicht, die als Opferschicht für nachfolgende Abscheidungs , Ätzungs und Implantationsprozesse… …   Deutsch Wikipedia